性能特點(diǎn) 

1、 廣范圍、高精度測(cè)量。 

2、具有 Scan AF 的高速測(cè)定模式。 

3、與粗糙度的國際標(biāo)準(zhǔn)具有高度相關(guān)性。 

4、標(biāo)配的 MitakaMap 軟件，可對(duì)應(yīng) ISO 國際標(biāo)準(zhǔn)的 2D/3D 表面 粗糙度/形狀測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)。 

5、緊湊的尺寸，只需要 400mm x 400mm 的空間即可安裝。 

6、設(shè)備重量 31kg。 

技術(shù)參數(shù) 

1、移動(dòng)范圍（X，Y，Z）：60 x 60 x 60mm 

2、X-Y 軸分辨率：0.1um 

3、Z 軸分辨率：0.01um 

4、激光點(diǎn)直徑：1um 

5、激光：半導(dǎo)體激光（o/p：1mW Max. λ= 635nm）